NIA
NIA
NIA
Engineering
Научно-производственное объединение
вакуумно-плазменного оборудования ·
Санкт-Петербург · с 2009
ГлавнаяНовостиРазработки
Заказная
установка

«Тетрадон» — магнетронное напыление под задачу заказчика

опыт таких установок —
основа серийного продукта
Одна из заказных установок НИА — «Тетрадон»
Заказная установка НИА «Тетрадон»01 / 02Заказная установка «Тетрадон»открыть
Магнетронные источники внутри вакуумной камеры02 / 02Магнетронные источники внутри камерыоткрыть
ФОТО
/
УЗЕЛ
опыт таких установок —
основа серийного продукта
РазработкиНовость компании

НИА разрабатывает собственную установку магнетронного напыления

От заказных установок и собственного расчётного ПО — к серийному продукту для лабораторий, R&D-центров и мелкосерийного производства.

12 августа 2026≈ 3 минR&Dоборудованиесобственные разработки

НИА Инжиниринг начала разработку собственной серийной установки магнетронного напыления. Компания, которая до сих пор проектировала установки под конкретные задачи заказчиков и модернизировала чужое оборудование, собирает накопленный опыт в собственный продукт — конфигурируемую платформу для лабораторий, R&D-центров и мелкосерийного производства.

В основе — решения, отработанные на заказных установках вроде «Гурами» и «Тетрадона»: управляемая вакуумная среда, раздельный газонапуск, контроль состава на масс-спектрометре, кварцевый контроль толщины в процессе и единая АСУ ТП. Ключевое отличие от сборки «из каталога» — параметры плёнки закладываются расчётом в собственном ПО моделирования осаждения, которое компания ведёт с 2021 года, а не подбираются перебором.

«Мы годами проектировали установки под конкретные задачи и модернизировали чужое оборудование. Логичный следующий шаг — собрать этот опыт в собственный продукт: установку, которую мы знаем до последнего узла и можем обслуживать сами, а не зависеть от недоступного вендора».

Никита Бабинов
генеральный директор НИА Инжиниринг

Установка рассчитана на тонкоплёночные покрытия под задачу: упрочняющие и износостойкие (для инструмента и оснастки), оптические (для оптики, дисплеев, солнечных панелей), диэлектрические и проводящие (для электроники и печатных плат), а также исследовательские многослойные структуры под НИОКР. Эти процессы команда уже отрабатывала на заказных установках — от катодов натрий-ионных аккумуляторов до плёнок для фотоэлементов.

Магнетронные источники внутри вакуумной камеры
Магнетронные источники внутри вакуумной камеры одной из установок НИА — узлы такого класса лягут в основу серийного продукта.
Коротко о продукте · целевые параметры, ориентир
Процессымагнетронное (DC / импульс / ВЧ) + терморезистивное
Давлениепредельное ≤ 10−5 мм рт. ст.
Подложкидо 100×100 мм, 1–16 позиций, с вращением
Контрольмасс-спектрометр + кварцевый по толщине
Версиибазовая (лабораторная) и расширенная
Установка в разработке; финальная конфигурация и параметры определяются.

Собственный продукт — это ещё и вопрос доступности: установку проектируют, собирают и обслуживают в России, без привязки к вендору, до которого сегодня не дотянуться. А то, что параметры плёнки закладываются расчётом в собственном ПО, означает предсказуемый результат ближе к первому запуску, а не подбор перебором.

Сейчас установка в разработке: целевые параметры — ориентир на основе установок НИА и отраслевых аналогов, финальная конфигурация и модельный ряд определяются. Это следующий шаг компании — от инженерной поддержки и заказных проектов к собственному продукту, который команда знает до узла и сможет обслуживать сама.

Запрос

Опишите задачу — дальше вопросы задаём мы

От вас на первом шаге достаточно описания задачи. Дальше вопросы задаём мы.

Стадия:идеяесть ТЗфинансированиетендер
Организация:институтмегасайенсвузпромышленность
Присланное не публикуем. Готовы обсуждать под NDA.

Отвечает инженер профильного направления, при необходимости — вместе с научным руководителем.